随着精密制造业的发展，对精密测量技术的要求越来越高。位移测量技术作为几何量精密测量的基础，不仅需要超高测量精度，而且需要对环境和材料的广泛适应性，并且逐步趋于实时、无损检测。光谱共焦传感器是一种新型的具有超高精度和超高稳定性的光电位移传感器,代表了先 ...

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