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电子背散射衍射技术（EBSD）：原理、测试方法与应用领域
电子束与样品的相互作用 在EBSD测试中，首先利用SEM产生的高能电子束照射到材料表面。当电子束与样品原子相互作用时，会产生多种信号，其中 ...